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  • 分类：发展历史
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  • 来源：
  • 发布时间：2022-09-26
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【概要描述】Ø 2 inch 规模量产，Ø 4 inch 小批量供货，Ø 7 inch 样品研发。
位错密度：研发水平10³cm⁻²，量产水平10⁵cm⁻²。

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【概要描述】Ø 2 inch 规模量产，Ø 4 inch 小批量供货，Ø 7 inch 样品研发。
位错密度：研发水平10³cm⁻²，量产水平10⁵cm⁻²。

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作为课题承担单位获得国家重点研究计划“第三代半导体的衬底制备及同质外延”项目支持

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